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天眼查APP顯示,近日,沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司申請的“一種晶圓彩色圖像一致性評價與缺陷檢測方法”專利公布。 摘要顯示,本發(fā)明公開一種晶圓彩色圖像一致性評價與缺陷檢測方法。首先從圖像質(zhì)量、物理屬性、像素差分等三個維度對晶圓彩色圖像的一致性進(jìn)行評價,據(jù)此調(diào)整與監(jiān)控機臺硬件,保證晶圓彩色圖像的一致性與高質(zhì)量,檢測時基于晶粒最小重復(fù)單元來將待測晶圓圖像與標(biāo)準(zhǔn)模板進(jìn)行差分,再通過多通道的加權(quán)整合來最終確定缺陷區(qū)域。該方法可提高缺陷檢測效果的準(zhǔn)確性與不同機臺結(jié)果的一致性,且實現(xiàn)與計算過程簡單易行,可進(jìn)一步滿足半導(dǎo)體行業(yè)對自動光學(xué)檢測的需求。


























